Silizium-Membranen

Membranprodukte für
Elektronenmikroskopie und Mikroanalyse

EQ Photonics bietet ein umfassendes Sortiment an MEMS-Membranfenstern für die Transmissionselektronenmikroskopie (TEM), Rasterelektronenmikroskopie (SEM), Röntgenanalyse und verwandte Mikroanalyseanwendungen. Das Portfolio umfasst fünf Materialsysteme — Siliziumnitrid, Siliziumoxid, Siliziumkarbid, Silizium und Tomographiegeräte — jedes optimiert für spezifische analytische Anforderungen.

Alle Membranen werden unter Reinraumbedingungen hergestellt, einzeln verpackt und vor der Lieferung optisch inspiziert. Sonderanfertigungen sind auf Anfrage erhältlich.

Märkte

• Wissenschaft & Forschung
• Halbleiterindustrie & Mikroelektronik
• Materialwissenschaften & Nanotechnologie
• Biotechnologie & Life Sciences
• Chemie & Pharmaindustrie
• Luft- und Raumfahrt

Anwendungen

• Transmissionselektronenmikroskopie (TEM / HRTEM / STEM)
• Energiedispersive Röntgenspektroskopie (EDX)
• Elektronenenergieverlustspektroskopie (EELS)
• Röntgenfluoreszenz (XRF) & Röntgenbeugung (XRD / SAXS)
• In-situ-Elektronenmikroskopie mit Flüssigkeitszellen
• Korrelative Licht- und Elektronenmikroskopie (CLEM)
• Elektronentomographie & 3D-Rekonstruktion
• Nanopartikelanalyse & Filtration
• Hochdurchsatz-Probenpräparation

Eigenschaften

• Fünf Materialsysteme: Siliziumnitrid, Siliziumoxid, Siliziumkarbid, Silizium, Tomographie
• Membrandicken ab 5 nm — je nach Material und Anwendung angepasst
• Quadratische und runde (TEM) Rahmenformate verfügbar
• Poröse Varianten mit Mikro- und Nanoporenmustern (Siliziumnitrid)
• Multichip 3×3-Array-Format für Hochdurchsatz-Workflows
• Einkristalline Silizium-Membranen in (100)-, (110)- und (111)-Orientierung
• Tomographiegeräte für 3D-TEM-Rekonstruktions-Workflows
• Einzeln in Gelkapseln verpackt — Reinraumqualität

Vorteile

• Materialwahl abgestimmt auf Kontrast-, Temperatur- und chemische Anforderungen
• Minimales Hintergrundsignal bei allen Materialsystemen
• Hohe mechanische Stabilität für robuste Handhabung und Strahlungsexposition
• Chemisch inert gegenüber Lösungsmitteln, Säuren und Plasmaprozessen
• Kompatibel mit allen gängigen TEM-Probenhaltern
• Direkt einsatzbereit — keine Vorreinigung erforderlich
• Sonderanfertigungen auf Anfrage erhältlich