MEMS

Von Laboroptik zur industriellen Anwendung.
Mikroskopie-Innovation – maßgeschneidert von EQ Photonics.

Wenn höchste Präzision gefragt ist und herkömmliche Lösungen versagen:

  • Zugang zu einer exklusiven Auswahl leistungsstarker MEMS-Komponenten für moderne Mikroskopie
  • Kompetente Beratung basierend auf bewährter MEMS-Systementwicklung
  • Inklusive Machbarkeitstests – individuell abgestimmt auf Ihre Anforderungen
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Maximilian Abeln – Sales & Business Development Manager MEMS Solutions

Erfolgreiche Projekte – Kunden, die EQ vertrauen

Typische Herausforderungen bei der Auswahl industrieller MEMS-Lösungen

Standardlösungen entsprechen nicht Ihren individuellen Anforderungen.

Hoher Integrationsaufwand mit bestehenden Laborsystemen

Sicherstellung von hermetischen Abdichtung, chemischen Verträglichkeit und stabilen Verhalten

Händler bieten generische Teile anstelle von Lösungen an.

Langsame Reaktionen verzögern Prototyping- und Testzyklen.

Schwierigkeiten bei der kontaktlosen Qualitätskontrolle oder Positionsbestimmung

Vor welcher Herausforderung stehen Sie derzeit?

Technologieunabhängige Beratung für Mikroskopie und fortschrittliche Anwendungen

EQ Photonics unterstützt Sie bei der Auswahl und Integration der richtigen MEMS-Lösung – von der In-situ-Elektronenmikroskopie bis hin zu kundenspezifischen Sensorplattformen. Mit herstellerneutraler Beratung, einem der breitesten Technologienetzwerke auf dem Markt und einem tiefgreifenden Verständnis der realen Rahmenbedingungen helfen wir Ihnen, komplexe Anforderungen in erfolgreiche Ergebnisse umzusetzen.

Fortschrittliche Mikroskopielösungen für Forschung und Industrie

Von hochauflösenden optischen Modulen bis hin zu integrierten Bildgebungsplattformen – EQ liefert maßgeschneiderte Lösungen für die anspruchsvollsten Anwendungen in den Bereichen Biowissenschaften, Materialanalyse und industrielle Inspektion.

Zuverlässige Entwicklung durch individuelle Machbarkeitsprüfungen

Bevor Sie Ihr Projekt starten, helfen wir Ihnen dabei, die technische Machbarkeit durch präzise Testverfahren zu validieren und die Kompatibilität mit MEMS-Strukturen und fortschrittlichen optischen Aufbauten sicherzustellen.

Schnelle Prototypenentwicklung und flexible Unterstützung für MEMS-basierte Projekte

Mit fundiertem Fachwissen im Bereich MEMS-Integration, kurzen Reaktionszeiten und transparenten Prozessen unterstützt EQ Sie bei der Entwicklung Ihrer kundenspezifischen Geräte vom Konzept bis zum Prototyp in jeder Phase des Prozesses.

Unsere Produkte für MEMS Projekte auf einem Blick

In-Situ
Heating Chips

Electrochemistry
Chips

E-Biasing
Chips

Heating Holders

Transmission Windows

Biasing Holders

Ulti Flow

Welches MEMS-Produkt ist für Ihre Konfiguration geeignet?

Was Kunden mit unseren Mikroskopie Lösungen erreicht haben: Beispiele aus der Praxis

Präzise Inspektion in der Mikroskopie mit Probenhalter

3D-Visualisierung und Analyse unter Extrembedingungen

Anwendungsfall: Untersuchung von nanostrukturierten Materialien unter Hochvakuum- und Tieftemperaturbedingungen

Resultate: Zuverlässige Messung mit Mikroskopie-Setups unter Einsatz von Probenhaltern für perfekte Stabilität und Thermokontrolle

Unser Service: Beratungsdienstleistung zur Auswahl geeigneter Chips, Integration in bestehende Systeme sowie Optimierung für maximale Bildqualität

 

Ein führendes Forschungsinstitut im Bereich der Materialwissenschaften setzt unsere Lösung zur Untersuchung von 2D-Materialien wie Graphen und MoS₂ ein. Dank der Norcada-Mikroskopie-Chips mit integrierter Heiz- und Kühltechnologie ist es möglich, die Proben präzise bei Temperaturen von -190 °C bis +400 °C zu analysieren. Die Chips bieten eine außergewöhnliche Planarität und mechanische Stabilität, wodurch hochaufgelöste TEM- und SEM-Aufnahmen ohne Drift oder thermische Ausdehnung möglich sind. Das Ergebnis ist eine drastisch verbesserte Reproduzierbarkeit und Bildqualität in anspruchsvollen Analyseverfahren.

SEM-Analyse biologischer Proben mit stromführenden Norcada-Chips

Oberflächencharakterisierung bei niedrigen Elektronenenergien

Fallbeispiel: SEM von empfindlichen biologischen Materialien ohne Probenbeschädigung

Resultat: Stabile Probenpräparation mit leitfähigen Chips zur Vermeidung von Ladungseffekten

Unser Service: Bereitstellung kundenspezifischer, leitfähiger Membranträger für empfindliche organische oder biologische Proben inklusive Applikationssupport

 

Ein Biotech-Unternehmen untersuchte zelluläre Strukturen mittels Niedrigenergie-SEM (1–5 keV), was besondere Anforderungen an die Probenstabilität und Ladungsableitung stellte. Unsere Lösung bestand aus speziell beschichteten Norcada-Membranträgern mit dünner Gold- oder ITO-Leitschicht. Dadurch konnten die Proben direkt ohne Sputter-Coating untersucht werden. Die Membranträger reduzierten die Aufladung der Probe drastisch und lieferten scharfe SEM-Bilder mit hoher Kontrasttiefe. Die Kundenlösung ermöglichte nicht nur einen schnelleren Workflow, sondern auch die Untersuchung lebender Zellen in dehydratisierter Umgebung – ein Durchbruch in der Analyse biologischer Probenstrukturen.

Hochauflösende X-Ray-Charakterisierung mit Membranen

Präzise Materialanalytik mit Röntgenmikroskopie bei minimaler Hintergrundstreuung

Anwendungsbeispiel: Röntgenanalytik von ultradünnen Materialien und Nanostrukturen mit minimalem Substrathintergrund

Resultate: Kontrastreiche und rauscharme X-Ray-Daten dank ultradünner Si₃N₄-Membranen (<50 nm)

Unser Service: Auswahl und Lieferung applikationsspezifischer Membranträger inklusive Vakuumverträglichkeit und Strahlenschutzberatung

 

Ein Forschungszentrum im Bereich quantenbasierter Materialentwicklung nutzt unsere Membranträger für Synchrotron-basierte X-Ray Absorptionsspektroskopie (XAS) an 2D-Materialien. Entscheidend für den Erfolg war die extrem geringe Hintergrundstreuung durch die ultradünne Si₃N₄-Membran mit 30 nm Dicke, die hohe Transparenz für Weichröntgenstrahlung ermöglicht. Die spezielle Geometrie des Rahmens erlaubte zudem die direkte Integration in bestehende Sample-Halter-Systeme. Die resultierenden X-Ray-Daten wiesen ein signifikant verbessertes Signal-Rausch-Verhältnis auf und erlaubten quantitative Rückschlüsse auf Oxidationszustände und Bindungslängen.

Ist Ihre Anwendung technisch machbar, wirtschaftlich rentabel und zukunftssicher?

Das können Sie von uns und unseren Lösungen erwarten:

Hochleistungs-Mikroskopie mit MEMS-Technologie

EQ Photonics ermöglicht gemeinsam mit Norcada fortschrittliche Mikroskopielösungen durch präzise MEMS-Bauelemente und optische Komponenten. Diese Technologien eröffnen neue Möglichkeiten in den Lebenswissenschaften, der Materialforschung und der Nanotechnologie, indem sie zuverlässige Hochauflösungsplattformen für die Bildgebung bereitstellen.

Flexibilität durch modulare und offene Plattformen

Unsere Mikroskopielösungen basieren auf offenen und modularen Designs, die eine nahtlose Integration von MEMS-Chips, kundenspezifischer Optik und Detektionssystemen ermöglichen. Diese Flexibilität macht sie ideal für Forschungsinstitute und industrielle Labore, die skalierbare und anpassungsfähige Systeme benötigen.

Nachhaltige Investition für Spitzenforschung

Mit der MEMS-Expertise von Norcada und dem optischen Know-how von EQ Photonics erhalten Kunden langfristigen Mehrwert durch hochzuverlässige Komponenten, erweiterbare Systeme und skalierbare Designs. Dies sichert zukunftsfähige Forschungs­möglichkeiten in Bereichen wie Einzelzellanalyse, Spektroskopie und Quantentechnologie.

Mit welchen Herausforderungen sind Sie derzeit konfrontiert?

Wer wir sind: EQ Photonics ist Ihr Technologiepartner für MEMS-Lösungen

EQ Photonics ist Ihr zuverlässiger Partner für fortschrittliche Photonik- und MEMS-basierte Lösungen und bietet herstellerunabhängige Beratung und fundiertes technisches Fachwissen.
Wir verbinden wissenschaftliches Know-how mit Marktkenntnissen, um komplexe photonische Anwendungen – wie Spektroskopie, Quantensensorik und Röntgenanalyse – zugänglich und skalierbar zu machen. Unser Portfolio geht weit über die Bildgebung hinaus: EQ Photonics unterstützt Kunden bei der Auswahl modularer Komponenten, der Systemintegration und der individuellen Projektbegleitung, wobei Ihre spezifischen Anforderungen im Vordergrund stehen – nicht Standardlösungen.

HerstellerOnline-HandelEQ PhotonicsBerater
Kompetente Beratung zu maßgeschneiderten Lösungen
Integrierte Lösungen aus einer Hand
Ein Ansprechpartner für alle Belange
Zugang zu Forschung und Entwicklung, Produktmanagement und Produktion
Schulungen und Support vor Ort
Lieferung kleiner Chargen

So starten Sie Ihr MEMS-Projekt mit EQ Photonics

1. 30-Minuten Erstgespräch

2. Anforderungsanalyse und anwendungsspezifische Beratung

3. Gemeinsamer Machbarkeitstest

4. Angebotsphase und Projektstart

5. Lieferung, Installation und Support

Warum vertraut EQ Photonics auf Norcada?

EQ Photonics arbeitet seit über einem Jahrzehnt, seit 2015, mit Norcada zusammen:
Die Produkte von Norcada überzeugen durch ihre technologische Präzision, anpassbaren Designoptionen und starke Leistung in fortschrittlichen photonischen und MEMS-Anwendungen.

Lange Verfügbarkeit hochpräziser Komponenten für eine zuverlässige Integration

Breite Auswahl an MEMS- und photonischen Elementen für vielfältige Anwendungen

Hervorragendes Preis-Leistungs-Verhältnis für Forschungszwecke und OEM-Anwendungen

Flexible Gestaltungsmöglichkeiten ermöglichen eine nahtlose Systemintegration.

Skalierbare Lösungen vom Prototypenbau bis zur Serienfertigung

Häufig gestellte Fragen zu den MEMS-Produkten von EQ Photonics

Jede Anwendung ist anders – egal, ob Sie im Hochvakuum arbeiten, einen Quantensensor integrieren oder Spektroskopie betreiben. Unser Team bewertet Ihre spezifischen Anforderungen und berät Sie bei der Auswahl der optimalen Norcada-Komponente, einschließlich Optionen für Beschichtungen, Rahmenmaterialien und kundenspezifische Geometrien.

Norcada bietet eine Vielzahl von Anpassungsmöglichkeiten, darunter Membrandicke, Fenstergröße, Chipform, Materialtyp (z. B. SiN, SiC) und Beschichtungsoptionen. Diese Flexibilität ermöglicht es uns, jede Komponente genau auf die Anforderungen Ihrer Anwendung zuzuschneiden.

Der Preis hängt vom Umfang des Projekts, den Genauigkeitsanforderungen und der Komplexität des Systems ab. In der Regel erhalten Sie von uns vor dem Machbarkeitstest eine unverbindliche Preisspanne.

Auf jeden Fall – EQ Photonics arbeitet während der Machbarkeitsphase eng mit seinen Kunden zusammen, indem es Norcada-Muster zur Verfügung stellt, technische Beratung anbietet und bei der Interpretation der Ergebnisse hilft. Norcada-Produkte werden häufig in begutachteten wissenschaftlichen Publikationen zitiert, was ihre bewährte Leistungsfähigkeit in anspruchsvollen Anwendungen bestätigt.

Wir setzen nicht auf standardisierte Vertriebsprozesse, sondern auf individuelle Betreuung und technisches Fachwissen auf Augenhöhe. Wir bieten Ihnen technologieunabhängige Beratung, ein vielfältigeres Portfolio und deutlich tiefgreifendere Lösungen – von der ersten Beratung bis zur endgültigen Lösung.

Haben Sie noch Fragen zu unseren MEMS-Produkten?